發(fā)布日期：2020-6-23 11:09:00
寬幅等離子清洗機(jī)的噴頭結(jié)構(gòu)深圳等離子設(shè)備廠家：誠(chéng)峰智造
產(chǎn)品特點(diǎn)：配置專(zhuān)業(yè)移動(dòng)平臺(tái)，一鍵式控制啟動(dòng)，操作簡(jiǎn)單；
工業(yè)的航空航天電連接器表面清洗；通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。
寬幅等離子清洗機(jī)的噴頭結(jié)構(gòu)深圳等離子設(shè)備廠家：誠(chéng)峰智造
自動(dòng)X/Y軸式AP等離子處理系統(tǒng)CRF-APO-200P
工業(yè)的航空航天電連接器表面清洗；通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。
等離子體清洗主要用于基體表面的物理清洗和表面粗化。因此，等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)。
一、表面清潔 在晶圓、玻璃等產(chǎn)品的表面顆粒去除過(guò)程中，通常采用等離子體對(duì)表面顆粒進(jìn)行轟擊，以實(shí)現(xiàn)顆粒的分散和松動(dòng)，然后再進(jìn)行離心清洗等工藝。尤其是在半導(dǎo)體封裝過(guò)程中，完成打線工藝后防止導(dǎo)線氧化，是采用氬等離子體或氬氫等離子對(duì)表面進(jìn)行清洗。
二、表面粗化 等離子清洗機(jī)的表面粗糙也稱(chēng)為表面刻蝕，目的是提高材料的表面粗糙度，從而增加材料的粘接、印刷和焊接。活性氣體處理過(guò)后也可以增加表面張力，等離子化產(chǎn)生的顆粒相對(duì)較重，在電場(chǎng)作用下等離子的動(dòng)能明顯高于活性氣體，因此其粗化效果更明顯，在無(wú)機(jī)物表面粗化過(guò)程中應(yīng)用最廣泛。如玻璃基材表面處理、金屬基材表面處理等。
三、活性氣體輔助 在等離子清洗機(jī)的活化和清洗過(guò)程中，混合工藝氣體相對(duì)來(lái)說(shuō)會(huì)取得較好的效果，電離后產(chǎn)生的顆粒比較后，當(dāng)表面清洗和活化通常與活性氣體結(jié)合時(shí)效果較好。
等離子清洗機(jī)的作用原理主要是：
1）對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
2）激活鍵能，交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
3）形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用
如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性
等離子清洗機(jī)、等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化和等離子表面處理等場(chǎng)合。通過(guò)其等離子表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
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